使用示例

蝕刻、成膜裝置中工藝氣體的高精度控制

◆壓力控制·減壓

◆壓力穩定化

● 采用高耐腐蝕材料

● 實施電解研磨、超精密加工、超精密清洗

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02 優化設計

●盡量減少滑動部

● 膜片結構的優化

● 優化材質，實現平穩動作

03 高密封性

有助于工藝穩定化。

● 閥座部的優化設計和超精密加工

● 最大限度抑制閥閉動作時的2次側泄漏（流出）

04 高微小流量控制性

實現穩定且平穩的動作

● 閥座部形狀的優化設計

● 微小流量下也可穩定控制

05 減少遲滯

安全滿足目標壓力。

● 采用高品質材料

● 超精密加工

06 豐富的產品陣容