MKS 精密光學(xué)制造部門為 OEM 客戶生產(chǎn)先進(jìn)的光學(xué)產(chǎn)品，如透鏡、反射鏡、窗片、分束器、波片、濾光片和偏振片等，這些器件經(jīng)過高精度表面拋光，具有嚴(yán)格的不均勻性、表面粗糙度和表面技術(shù)參數(shù)，而這些都經(jīng)過了先進(jìn)的計(jì)量設(shè)備驗(yàn)證。薄膜鍍膜經(jīng)過工程設(shè)計(jì)具有較寬的光譜范圍(DUV - VIS - IR)，采用多種沉積方法制備寬帶、窄帶和多波段的抗反射膜、反射膜、濾光鍍膜和偏振鍍膜，并通過精密的鍍膜計(jì)量工具對(duì)這些器件進(jìn)行驗(yàn)證。

MKS Spectra-Physics® 品牌提供高性能、可靠的激光系統(tǒng)，同時(shí)有應(yīng)用工程師團(tuán)隊(duì)和響應(yīng)全球的支持組織提供技術(shù)支持。光物理激光器廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)制造應(yīng)用，包括立體光刻、快速成型和激光沖擊處理。

外腔半導(dǎo)體激光器 (ECDL) 是一種窄線寬 ( 約為100 kHz) 可調(diào)諧頻率光源，可用于半導(dǎo)體晶圓的激光反射和干涉測(cè)量。MKS 為OEM 提供工程支持，可根據(jù)客戶的需求定制這些光源，例如機(jī)械和光學(xué)再設(shè)計(jì)、形狀因子修改、光纖耦合、光學(xué)隔離器的添加、無跳模調(diào)諧范圍的擴(kuò)展、電子集成、速度調(diào)諧或線性度調(diào)諧的優(yōu)化等。圖 2 所示為半導(dǎo)體制造設(shè)計(jì)的ECDL 模型，TLB- 8800 可調(diào)諧激光器采用 Littman-Metcalf 設(shè)計(jì)，針對(duì)激光掃描和反射測(cè)量計(jì)量優(yōu)化，可提供超快音圈電機(jī)調(diào)諧( 調(diào)諧速度達(dá)2000 nm/s，20000 nm/s 可選) 用于高重頻快速分析，如調(diào)諧速度10000 nm/s、無跳模調(diào)諧范圍 100+ nm 時(shí)重頻可達(dá) 30 Hz。TLM-8700 是 TLB-8800 的 OEM  版本，結(jié)構(gòu)更加緊湊。

MKS Newport 品牌功率計(jì)和光電探測(cè)器提供 ISO-9001 或  ISO-17025 認(rèn)證的 NIST 可追溯校準(zhǔn)，以盡可能精確地測(cè)量功率和能量( 見圖 5)。這些器件是為 OEM 應(yīng)用定制，并作為目錄產(chǎn)品供貨用于研發(fā)應(yīng)用。光電二極管 (818 和 918D 系列)、熱電堆 (919P) 和焦熱電 (919E) 探測(cè)器將入射光子轉(zhuǎn)換成可測(cè)量的電信號(hào)，由兼容的功率表讀取，根據(jù)探測(cè)器的響應(yīng)度進(jìn)行校正，并顯示為測(cè)量功率。我們的探測(cè)器多種型號(hào)，可適用于大多數(shù)應(yīng)用，包括經(jīng)過客戶啟發(fā)研發(fā)的僅 5.4 mm 厚 的 818-ST2 系列筆式探測(cè)器，積分球探測(cè)器 (918D-IS、819C 或 819D) 與大多數(shù)光纖連接器類型兼容，其入射到探測(cè)器有效區(qū)域內(nèi)的光更加均勻，進(jìn)一步降低了測(cè)量不確定性。